Central de Equipamentos e Serviços / Service Facility
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Equipamento
Descrição
Unidade
Karl Suss - MJB3
Fotoalinhadora com resolusão de at‚ 1 um.
CCS
Karl Suss - MJB4
Fotoalinhadora de dupla face, permite fazer litografia em dois lados de wafer de Si, resolução min. 0.5 m. Operacional desde 2009.
CCS
Knifemaker
Knifemaker Reichert-Jung.
IB
Knifemaker Leica EMKMR2
Produz navalhas de vidro a partir de barras de 6,4, 8 e 10 mm, utilizando o método de quebra balanceada (balanced-break method).
IB
Knifemaker Leica EMKMR2
Produz navalhas de vidro a partir de barras de 6,4, 8 e 10 mm, utilizando o método de quebra balanceada (balanced-break method).
IB
Kodak Scaner I405
Scanner de Produção
IFCH
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